信息工程學院成功完成集成電路工藝實訓平台建設及流片驗證

發布者:信息工程學院發布時間:2023-09-13浏覽次數:769

        2023910日,信息工程學院集成電路專業相關老師見證了集成電路工藝實訓平台(後簡稱:工藝平台流片完成的PN二極管晶圓的功能測試,測試結果表明二極管芯片功能正确,标志着集成電路工藝實訓平台建設取得成功。集成電路工藝實訓平台于202210月開始立項建設,是信息工程學院迄今為止投資最大、儀器設備類型最多、綜合複雜度最高的學生實訓平台。工藝平台建設經曆了方案調研論證、招标采購、設備安裝和工藝流片試驗等諸多環節,得到了校領導、學校管理部門、學院領導和地方企業的大力支持。


工藝平台目前已成功開發出可供本科生實訓用的PN二極管”工藝流程,充分發揮校企合作共建機制,将工藝實訓的成本降到最低。整體工藝流程開發試驗曆經2個半月,完成了氧化、擴散、光刻、刻蝕、金屬沉積和探針台測試等工藝試驗和25道工序的開發訓練,相關工藝類型基本覆蓋常規集成電路工藝試驗類型,可以滿足本科生工藝實訓課程的需求。

  集成電路工藝實訓是制約當前我國集成電路人才培養的核心瓶頸之一,長期以來存在實驗室建設成本高、建設“門檻”高、使用要求高等問題,難以在應用型本科高校中開展實體工藝線實訓項目。本工藝平台的成功建設将會極大支撐澳门金莎集成電路相關專業學生應用型能力的培養。本平台通過校企深入合作共建的方式,提供了一種高性價比的工藝平台建設方案,将會對應用型本科高校集成電路工藝實訓課程建設起到積極示範作用,并為我國集成電路行業工程師人才培養添磚加瓦。

        (撰稿、攝影:信息工程學院 陳珍海 ;審核:信息工程學院 呂海江

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